應用 | 電子及半導體製造
精確定位 得益於久經考驗的旋轉衝程軸承與其他任何工業領域相比,半導體生產的技術進步非常迅速,可以在更短的時間內生產出更精細的結構。人們對工件質量的要求越來越高,同時要求縮短循環時間。
MarMotion 滾珠襯套軸承 | 久經考驗
生產力 - 穩定而可靠
快速運動、縮短循環時間
旋轉衝程軸承是許多應用的理想解決方案。旋轉衝程軸承以獨特的方式將精度和剛性與緊湊的尺寸相結合。滾珠隔離圈中的大量滾珠在各個方向上提供了很高的 剛性。精確設置的預緊力可確保零間隙和可靠的剛性,非常適合短循環時間內的快速運動。
減少停機時間
精加工表面、最優質的材料和精心硬化的鋼材使摩擦力降到最低,以確保長使用壽命、高可靠性和低維護。由於維護或修理造成的停機時間可顯著減少,這在半導體製造領域尤為關鍵。
在真空及無塵室中使用
可根據要求提供能夠在真空或無塵室中使用的材料。
旋轉衝程軸承是許多應用的理想解決方案。旋轉衝程軸承以獨特的方式將精度和剛性與緊湊的尺寸相結合。滾珠隔離圈中的大量滾珠在各個方向上提供了很高的 剛性。精確設置的預緊力可確保零間隙和可靠的剛性,非常適合短循環時間內的快速運動。
減少停機時間
精加工表面、最優質的材料和精心硬化的鋼材使摩擦力降到最低,以確保長使用壽命、高可靠性和低維護。由於維護或修理造成的停機時間可顯著減少,這在半導體製造領域尤為關鍵。
在真空及無塵室中使用
可根據要求提供能夠在真空或無塵室中使用的材料。